QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO卡詳細(xì)介紹：
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡，采用雙硅芯片相互垂直、通過(guò)塑料支架固定的設(shè)計(jì)理念，使兩個(gè)3 x 3 mm2芯片均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點(diǎn)狀圖樣，寬度和直徑從1μm到10μm不等。
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試技術(shù)參數(shù)：
柱狀部分：
直徑：5.2 mm
總長(zhǎng)：19.1 mm
材料：致密塑料
芯片部分：
直徑：2.96 mm
總長(zhǎng)：0.66 mm
材料：硅
芯片上圖樣尺寸范圍：1μm至10μm
圖樣深度：5μm至15μm
對(duì)比材料：硅/空氣
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體，MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡芯片上有一個(gè)傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個(gè)西門(mén)子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上，從而使用戶僅通過(guò)一次曝光和測(cè)量就可以對(duì)整個(gè)芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評(píng)估。
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展，我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO！
技術(shù)指標(biāo)
基礎(chǔ)材料：	固體塑料（切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm）
模體直徑：	5.2毫米
高度：	19毫米
硅芯片的措施：	3 x 3 x 0.66毫米
芯片上的結(jié)構(gòu)（分辨率）：	分別為1至10 μm。500至50 LP / mm
芯片材質(zhì)：	硅
圖案對(duì)比	硅/空氣